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電感耦合等離子體反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)（ICP-RIE）-plasma 電感耦合等離子體反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)（ICP-RIE）相較于傳統(tǒng)的反應(yīng)離子刻蝕進(jìn)行了優(yōu)化,通過增加射頻源實(shí)現(xiàn)更高效的等離子體激發(fā)。該系統(tǒng)使用兩個(gè)獨(dú)立的射頻源,分別用于等離子體生成和刻蝕速率控制,從而大幅提升加工精度。

Nov. 22, 2025

大氣等離子體處理材料表面 大氣等離子體是在大氣壓下產(chǎn)生的等離子體。在大氣等離子體中沒有復(fù)雜的真空系統(tǒng)約束,氣體壓力接近大氣壓,相比于低氣壓等離子體材 料表面處理技術(shù),具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、運(yùn)行成本低且穩(wěn)定的優(yōu)點(diǎn)。

Nov. 22, 2025

氧等離子活化時(shí)間和功率對(duì)晶圓接觸角和粗糙度的影響 氧等離子體活化的主要工藝參數(shù)有活化功率、氣體流量和活化時(shí)間,本文通過研究等離子體活化時(shí)間和功率,明確等離子體活化工藝對(duì)晶圓表面接觸角和粗糙度的影響。

Nov. 17, 2025

氧等離子體處理對(duì)碳納米管CNTs薄膜結(jié)構(gòu)與性能的影響 等離子體處理對(duì)碳納米管CNTs薄膜的形貌幾乎無影響,但可以改變CNTs薄膜的化學(xué)特性,在其表面生成含氧官能團(tuán),如羧基、羥基和羰基等,進(jìn)而改善環(huán)氧樹脂對(duì)CNTs薄膜的浸潤(rùn)性，等離子體處理過程采用干式工藝,無須使用溶劑,更加環(huán)保

Nov. 15, 2025

有機(jī)膜等離子體處理提高親水性 等離子體處理增加有機(jī)膜表面親水性的主要原因如下：等離子體中的自由基和離子與有機(jī)膜表面發(fā)生一系列物理化學(xué)反應(yīng),生成羥基的同時(shí)去除了表面的附著物,能增加有機(jī)膜的親水性。

Nov. 15, 2025

TPU等離子體處理提高親水性原理 TPU分子中含有大量的烷烴鏈,因此TPU材料表現(xiàn)出較強(qiáng)的疏水性,利用等離子體對(duì)TPU進(jìn)行處理,可以在TPU材料表面接枝親水基團(tuán),如羥基、羧基和胺基等,從而提高材料的親水性能。

Nov. 13, 2025